石墨舟生产商-莆田石墨舟-东莞石金科技

确定需要清洗后，由设备、生产、工艺三方对石墨舟进行检查，石墨舟生产商， 2.1.5石 墨舟损坏后，由生产人员取出舟内所有的硅片，并使用CDA（压缩空气）对石墨舟内碎片进行清理，完毕后设备人员将其抬入已经配好一定比例HF溶液的酸槽中进行清洗。石墨舟组件陶瓷、石墨部件均属易碎材质，在搬运或使用 过程中应尽量避免碰擦；若发现组件有断裂、裂纹、松脱等现象应及时予以更换和重新锁紧。

深圳市石金科技股份有限公司专业石墨舟厂家告诉您，石墨舟是碳质元素结晶矿物，它的结晶格架为六边形层状结构。每一网层间的距离为3.40人，同一网层中碳原子的间距为1．42A。属六方晶系，具完整的层状解理。解理面以分子键为主，石墨舟哪里有，对分子吸引力较弱，故其**可浮性很好。石墨舟与金刚石、碳60、碳纳米管等都是碳元素的单质，它们互为同素异形体。

深圳市石金科技股份有限公司专门为模具行业、机械行业、真空热处理炉、电子半导体及太阳能光伏产业等提供石墨材料、石墨电极和相关的石墨制品，太阳能电池工艺设备的石墨舟及配件、C/C复合材料和保温隔热用石墨毡和软毡等多产品。

石墨舟的HF清洗步骤详细讲解

一般舟在运行100至150次后就应该进行清洗，这是因为石墨舟上的SiN会随着运行次数的增加而增加，石墨舟供应，影响石墨舟的正常使用。

在室温条件下(<40°C)，将石墨舟的部件放入HF浓度(5–20%)的腐蚀槽内进行腐蚀。z好的浓度是10%，腐蚀时间为4——6小时。低浓度条件下，腐蚀槽会被产生的SiN颗粒污染，因此需要进行定期的过滤维护。浓度**10%会对操作人员造成危险。所有部件应该被分开放入腐蚀槽内并且不可互相接触，这样HF酸就可以腐蚀到任何部位，这对于石墨连接块而言更为重要。

在2号纯水槽内将其用纯水漂洗4——6小时。

用PH-试纸检查流动的水是不是中性的，三明石墨舟，必须保证所有的蚀刻残渣(SiF4)都已经被洗掉，任何蚀刻残渣被带入炉管都可能引起沾污或者工艺问题。可以在石墨上看到白色的一层就是残渣，所有部件都必须分开放置这样可以避免酸液残留在其中。

在85°C条件下，将分离的舟各部件烘干24小时。

石墨像海绵一样可以蓄水并保持比较长的时间;在100°C以上烘干或者是在未干的状态下将其送入炉管会引起水的突然气化，这会使石墨po裂。将一个没有完全干燥的舟放入炉管还可能导致炉门边缘的侵蚀以及真空系统的过分沉积。

在提供的装配台上将舟装配好。检查有无损伤。

用CentroTherm提供的转矩扳手(0.6Nm)拧紧陶瓷螺丝，石墨螺丝比较易碎，因此必须用手小心拧紧。