PECVD石墨舟-石金科技石墨制品-PECVD石墨舟生产商

深圳市石金科技股份有限公司专门为模具行业、机械行业、真空热处理炉、电子半导体及太阳能光伏产业等提供石墨材料、石墨电极和相关的石墨制品，荆州PECVD石墨舟，太阳能电池工艺设备的石墨舟及配件、C/C复合材料和保温隔热用石墨毡和软毡等多产品。

对炉头内外墙中间填充石墨粉的地方要用长铁棍插入其中并很好搅动，因为在通电 过程中，常有小部份石墨粉被氧化。搅动后，可使石墨粉中的空隙减少，以后再补充适量 的石墨粉。对炉头内外墙也要检查有无裂缝，外墙的裂缝可抹以耐火泥，内墙的裂缝则 用石墨扮调成浆仔细抹上。导电电极靠炉内侧的端部表面产生的金刚砂要用铲子铲掉，PECVD石墨舟哪家便宜， 然后抹上一层石墨浆。

炉子的使用寿命与操作和维护有着密切的关系。使用与维护得好的右墨化炉可以 连续生产两年之久;使用与维护不好，有可能只生产几炉就毁坏。

电极板间距的变化是比较关键的，一般来说，间距的变化对于Depo rate/U%以及Reflect影响很大，本身这种舟式多片结构对于reflect控制不是太好，无法做到每个电极板腔室的单独控制，也就会产生舟中间和头尾之间比较大的差异。

我们的PECVD工程师，PECVD石墨舟生产厂家，建议不要改变电极间距（会影响等离子电场分布），原先我们也做过类似的变化，色差比较严重，现在基本是保证间距不变的基础上稍微增加几个电极板，效果还可以。

由于左导向杆采用T形滚轮支承，PECVD石墨舟生产商，右导向杆采用梯形滚轮支承，石墨舟在高温状态下产生变形不会影响左右导向杆与滚轮之间的流畅传输，能降低导向杆与滚轮之间的摩擦力，杜绝石墨舟在输送过程中出现因摩擦失衡被卡，或从滚轮上滑落等缺陷，既能保证石墨舟的稳定传输，又能减少电池片在镀膜工艺中的破损率。