东莞石金科技(图)-石墨舟设计-新余石墨舟

深圳市石金科技股份有限公司专门为模具行业、机械行业、真空热处理炉、电子半导体及太阳能光伏产业等提供石墨材料、石墨电极和相关的石墨制品，太阳能电池工艺设备的石墨舟及配件、C/C复合材料和保温隔热用石墨毡和软毡等多产品。

石墨工艺卡点更换：根据使用频率及时间，以及电池片实际阴影面积的要求，石墨舟加工，应对石墨舟工艺卡点进行周期性更换。推荐使用提供的**更换卡点设备进行拆卸及安装。该设备的操作有利于提高装配的速度和一致性以及减少舟片破损的风险。

建议对石墨舟进行编号管理，执行定期的清洗、烘干、维护、检查，并专人管理；保持石墨舟的管理及使用的稳定性。整体清洗的石墨舟应定期对陶瓷组件进行更换。

石墨舟维护时，组件、舟片及工艺卡点建议由石墨舟供应商提供，以免因组件精度无法匹配原舟而导致在更换过程中产生损坏。

石墨舟的功用及整体质量对PECVD过程的影响

实施硅片PECVD镀膜的器械除了设备外还需要一种支撑硅片的承载工具，管式PECVD采用石墨舟作为承载工具，石墨舟批发，板式PECVD则采用石墨框作为承载工具。

以管式机石墨舟为例，石墨舟即是承载体，也是电极，从电路角度上看，石墨舟设计，石墨舟实际上是一组并联体，任意两片舟片都是一组正、负极较板，在射频电压的左右下形成电场。

深圳市石金科技股份有限公司专门为模具行业、机械行业、真空热处理炉、电子半导体及太阳能光伏产业等提供石墨材料、石墨电极和相关的石墨制品，太阳能电池工艺设备的石墨舟及配件、C/C复合材料和保温隔热用石墨毡和软毡等多产品。

石墨舟加工车间的防尘与除尘

过滤式除尘器是使含尘气体通过一定的过滤材料来达到分离气体中固体粉尘的一种高效除尘设备。

车间的防尘除尘系统主要包括除尘器、集尘管道、风机。深圳石墨舟粉尘属于湿润性差的憎水性粉尘，新余石墨舟，不宜采用湿法除尘， 挥发在车间里的石墨舟粉尘颗粒小，粉尘温度不高、无腐蚀性故对除尘器无特殊要求。